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J-GLOBAL ID:200902110885004603   整理番号:00A0718332

微小円孔を有する電着銅薄膜による二軸応力検出法 第5報 被測定物の弾性係数の影響

Measurement of Biaxial Stress Using Electrodeposited Copper Foil with a Microcircular Hole. 5th Report. Effect of Modulus of Elasticity of the Material.
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資料名:
巻: 66  号: 647  ページ: 1398-1403  発行年: 2000年07月25日 
JST資料番号: F0227B  ISSN: 0387-5008  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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材料試験  ,  金属薄膜 

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