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J-GLOBAL ID：200902111655139131   整理番号：95A0568876

RF CH₃OHプラズマとμ波H₂/H₂Oプラズマを用いたダイヤモンド薄膜の形成 H₂O分圧依存性

Diamond Film Formation Using RF CH3OH Plasma CVD Assisted by Microwave H2/H2O Plasma.

著者 (7件)： 水野悦子 (名城大 理工) ,  山田浩二 (名城大 理工) ,  平松美根男 (名城大 理工) ,  縄田正人 (名城大 理工) ,  池田雅延 (名古屋大 工) ,  堀勝 (名古屋大 工) ,  後藤俊夫 (名古屋大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 42nd  号： Pt 2  ページ： 372  発行年： 1995年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (8件)： RF ,  プラズマ ,  μ波 ,  H2 ,  H2O ,  ダイヤモンド薄膜 ,  分圧 ,  依存性