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J-GLOBAL ID：200902113725164760   整理番号：93A0831702

CAICISSによる表面構造モニターとそれによる膜成長コントロール

Real-Time Monitoring and Control of Epitaxial Film Growth by Coaxial Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy(CAICISS).

著者 (3件)： 片山光浩 (理研) ,  中山知信 (新技術事業団) ,  青野正和 (理研)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 14  号： 7  ページ： 423-428  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 同軸型直衝突イオン散乱分光法(CAICISS)は,膜成長など...

シソーラス用語： 表面構造 ,...
準シソーラス用語： CAICISS

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (24件)：

• 1) M. Katayama, E. Nomura, N. Kanekama, H. Soejima and M. Aono : Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 33, 857 (1988).
• 2) M. Aono, M. Katayama, E. Nomura, T. Chasse, D. Choi and M. Kato : Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 37/38, 264 (1989).
• 3) M. Aono and M. Katayama : Proc. Jpn. Acad. 65, Ser. B, 137 (1989).
• 4) M. Katayama, E. Nomura, H. Soejima, S. Hayashi and M. Aono : Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 45, 408 (1990).
• 5) M. Aono, M. Katayama and E. Nomura : Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 64, 29 (1992).

タイトルに関連する用語 (5件)： CAICISS ,  表面構造 ,  モニター ,  膜成長 ,  コントロール