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J-GLOBAL ID：200902113806623548   整理番号：01A0329270

円筒形マグネトロンガスフロースパッタリング源を用いたCNx薄膜の形成 フローガス種による光学的特性変化

著者 (7件)： 武田基徳 (東海大 工) ,  小宮裕和 (東海大 工) ,  岩瀬満雄 (東海大 工) ,  中田雅章 (東京工高専) ,  一戸隆久 (東京工高専) ,  正木進 (東京工高専) ,  森崎弘 (電通大)
資料名： 粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム  (Proceedings of the Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses)
巻： 11th  ページ： 69-72  発行年： 2000年11月21日 
JST資料番号： L2435A  ISSN： 0919-3308  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  フロー ,  ガス種 ,  光学的特性