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J-GLOBAL ID：200902115318256806   整理番号：96A0622614

気体クラスタイオン衝撃により形成される損傷の研究

Investigation of damage formation by gas cluster ion bombardment.

著者 (4件)： MATSUO J (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAKEUCHI D (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KITAI A (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YAMADA I (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 112  号： 1/4  ページ： 89-93  発行年： 1996年05月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Arクラスタイオン衝撃による標記損傷を様々なエネルギーで調べ...

シソーラス用語： 重イオン照射 ,...
準シソーラス用語： 寸法効果

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分類 (1件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 気体 ,  クラスタ ,  イオン衝撃 ,  損傷 ,  研究