Soft x-ray production from laser produced plasmas for lithography applications.

SPITZER R C; KAUFFMAN R L; ORZECHOWSKI T; PHILLION D W; CERJAN C

文献

J-GLOBAL ID：200902116796273836 整理番号：94A0139603

Soft x-ray production from laser produced plasmas for lithography applications.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=94A0139603&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0139603&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0974A") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 11 号： 6 ページ： 2986-2989 発行年： 1993年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

前のページに戻る