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J-GLOBAL ID：200902117152248926   整理番号：99A0662241

100MHz領域で作動する走査型力顕微鏡に使うシリコン基ナノメータ振動子

A Silicon Based Nanometric Oscillator for Scanning Force Microcopy Operating in the 100 MHz Range.

著者 (4件)： KAWAKATSU H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TOSHIYOSHI H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SAYA D (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJITA H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 6B  ページ： 3962-3965  発行年： 1999年06月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型力顕微鏡に使う機械振動子で検出可能な力分解能は,自然振...

シソーラス用語： *力顕微鏡 ,...

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分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• (1) G. Binnig, C. Gerber and C.F. Quate: Phys. Rev. Lett. 56 (1986) 930.
• (2) T.R. Albrecht, P. Gutter, D. Horne and D. Rugar: J. Appl. Phys. 69 (1991) 668.
• (4) D.A. Walters, J.P. Cleveland, N.H. Thomson, P.K. Hansma, M.A. Wendman, G. Gurley and V. Elings: Rev. Sci. Instrum. 67 (1996) 3583.
• (5) K. Wago, O. Zuger, J. Wegener, R. Kendrick, C.S. Yannoni and D. Rugar: Rev. Sci. Instrum. 68 (1997) 1823.
• (6) B.W. Chui, T.D. Stowe, T.W. Kenny, H.J. Mamin, B.D. Terris and D. Rugar: Appl. Phys. Lett. 69 (1996) 2767.

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査型力顕微鏡 ,  シリコン ,  ナノメータ ,  振動子