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J-GLOBAL ID：200902118064225513   整理番号：95A1003958

変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ (第2報) 理論解析

Optical Encoder Using Modulated Pitch Grating. (2nd Report). Theoretical Analysis.

著者 (4件)： 家城淳 (オークマ) ,  松井圭司 (オークマ) ,  梨木政行 (オークマ) ,  羽根一博 (東北大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 11  ページ： 1619-1623  発行年： 1995年11月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 第1報において,2枚の回折格子を用いる横方向の相対変位エンコ...

シソーラス用語： 回折格子 ,...

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分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

引用文献 (13件)：

• 立澤寛. 精密位置決め技術,第4章. 1989
• CHITNIS, V. T. Moire signals in Reflection. Opt. Commun. 1985, 54, 207
• 小尾勝俊. レ-ザロ-タリ-エンコ-ダ. センサ技術. 1993, 13,13, 18
• 森山茂夫. 回折格子を用いた精密変位検出法. 昭和57年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集. 1982, 234
• TEIMEL, A. Technology and Applications of Grating Interferometers in High-precision Measurement. Prec. Engg. 1992, 14, 147

タイトルに関連する用語 (5件)： 変調 ,  周期 ,  回折格子 ,  光学式エンコーダ ,  理論解析