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J-GLOBAL ID:200902118955273837   整理番号:98A0932077

マイクロ波プラズマの下流における負イオン支援シリコン酸化

Negative Ion Assisted Silicon Oxidation in Downstream of Microwave Plasma.
著者 (5件):
資料名:
巻: 37  号: 9A  ページ: 5028-5032  発行年: 1998年09月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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マイクロ波酸素プラズマの下流域において,低温でのDCバイアス...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (8件):
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