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J-GLOBAL ID：200902119804015050   整理番号：99A0969613

二周波数容量結合プラズマの二次元CT画像

Two-dimensional CT images of two-frequency capacitively coupled plasma.

著者 (3件)： KITAJIMA T (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  TAKEO Y (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  MAKABE T (Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 17  号： 5  ページ： 2510-2516  発行年： 1999年09月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： 二周波数 ,  容量結合プラズマ ,  CT画像