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J-GLOBAL ID：200902120019985595   整理番号：98A0653783

サブミクロン分解能の走査非線形誘電顕微鏡

Scanning Nonlinear Dielectric Microscope with Submicron Resolution.

著者 (3件)： CHO Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUURA K (Yamaguchi Univ., Ube, JPN) ,  KUSHIBIKI J (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37  号： 5B  ページ： 3132-3133  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 試料の非線形誘電定数のポイント-ポイント変動を電気的に測定す...

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 誘電体測定技術・装置  (BM05020Q)

引用文献 (3件)：

• 1) Y. Cho, A. Kirihara and T. Saeki: Trans. Inst. Electron. Inf. & Commun. Eng. <b>J.78-C</b> (1995) 593 [in Japanese].
• 2) Y. Cho, A. Kirihara and T. Saeki: Rev. Sci.Instrum. 67 (1996) 2297.
• 3) Y. Cho, S. Atsumi and K. Nakamura: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 3152

タイトルに関連する用語 (5件)： サブ ,  分解能 ,  走査 ,  非線形 ,  顕微鏡