タングステンゲートを有する短チャネル効果を抑制したサブ0.1μm溝つきゲートMOSFET

KIMURA S; TANAKA J; NODA H; TOYABE T; IHARA S

文献

J-GLOBAL ID：200902120241070309 整理番号：95A0247380

タングステンゲートを有する短チャネル効果を抑制したサブ0.1μm溝つきゲートMOSFET

Short-Channel-Effect-Suppressed Sub-0.1-μm Grooved-Gate MOSFET’s with W Gate.

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資料名：
巻： 42 号： 1 ページ： 94-100 発行年： 1995年01月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

上記ゲート構造のMOSFETを試作し,ソースとドレインの間隔...

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トランジスタ

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