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J-GLOBAL ID：200902120694067147   整理番号：98A0789557

極端紫外線リソグラフィー用多層反射コーティング

Multilayer reflective coatings for extreme-ultraviolet lithography.

著者 (6件)： MONTCALM C (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  BAJT S (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  MIRKARIMI P B (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  SPILLER E (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  WEBER F J (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  FOLTA J A (Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3331  ページ： 42-51  発行年： 1998年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： 極端紫外線リソグラフィー ,  多層 ,  コーティング