文献

J-GLOBAL ID：200902121396592111   整理番号：99A0286043

ユニーク高精度リニアモータ集積エアスライドテーブルの開発,およびレーザビーム描画装置への応用

Development of a Unique, High Precision Linear Motor Integrated Air Slide Table, and Its Application to Laser Beam Writers.

著者 (1件)： ONDA H (NTN Corp., Shizuoka, JPN)
資料名： Optical Review  (Optical Review)
巻： 6  号： 1  ページ： 88-92  発行年： 1999年01月 
JST資料番号： L2272A  ISSN： 1340-6000  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度な位置決めをするため,標記のスライドテーブルを開発した...

シソーラス用語： *レーザリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： エアスライドテーブル ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (12件)：

• XU, F. Appl. Opt. 1995, 34, 256
• FAN, J. Appl. Opt. 1995, 34, 2522
• BENGTSSON, J. Appl. Opt. 1996, 35, 3807
• NIKOLAJEFF, F. Appl. Opt. 1997, 36, 8481
• BLOUGH, G. Laser Focus World. 1995, 31, 67

タイトルに関連する用語 (7件)： リニアモータ ,  集積 ,  エアスライド ,  開発 ,  レーザビーム ,  描画装置 ,  応用