文献
J-GLOBAL ID:200902122133890262
整理番号:00A0354344
反応スパッタ法により作製したZr-Si-N薄膜の耐酸化性
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著者 (6件):
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資料名:
巻:
125th
ページ:
262
発行年:
1999年11月20日
JST資料番号:
S0988A
ISSN:
1342-5730
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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