文献
J-GLOBAL ID：200902122133890262
整理番号：00A0354344
反応スパッタ法により作製したZr-Si-N薄膜の耐酸化性
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著者 (6件)：
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資料名：
巻：
125th
ページ：
262
発行年：
1999年11月20日
JST資料番号：
S0988A
ISSN：
1342-5730
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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