文献

J-GLOBAL ID：200902122505316460   整理番号：01A0270742

超精密多軸鏡面加工システムによる超精密鏡面加工特性

Grinding Characteristics of Multi-axis Ultraprecision Mirror Surface Machining System.

著者 (7件)： 大森整 (理研) ,  片平和俊 (理研) ,  安斎正博 (理研) ,  牧野内昭武 (理研) ,  山形豊 (理研) ,  守安精 (理研) ,  LIN W (理研)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 45  号： 2  ページ： 85-90  発行年： 2001年02月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密金型を作製するために必要な超精密多軸鏡面加工システム(...

シソーラス用語： *超精密加工 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0270742&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L0473A") }}

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (5件)：

• OHMORI, H. Mirror Surface Grinding of Silicon Wafers with Electrolytic In-Process Dressing. Annals of the CIRP. 1990, 39/1, 320
• OHMORI, H. Electrolytic In-Process Dressing(ELID) Grinding Technique for Ultra-Precision Mirror Surface Machining. Int. Journal of JSPE. 1992, 26/4, 273
• 大森整. 超精密加工に対応した電解インプロセスドレッシング(ELID)研削法. 精密工学会誌. 1993, 59,3, 43
• 大森整. ELID研削加工技術. 2000
• 守安精. 機上計測用縦型超精密触針式形状測定プローブの開発. 2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演講論集. 2000, 578

タイトルに関連する用語 (5件)： 超精密 ,  多軸 ,  鏡面 ,  加工システム ,  加工特性