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J-GLOBAL ID：200902122613569588   整理番号：97A0937091

プラズマCVM加工面に影響を与える前加工面の加工変質層について

Work-affected layer on pre-fininshing surface affecting plasma CVM worked surface.

著者 (6件)： 小林輝紀 (ニコン) ,  柴田規夫 (ニコン) ,  瀧野日出雄 (ニコン) ,  伊藤博 (ニコン) ,  山村和也 (大阪大 大学院) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1997  号： 秋季  ページ： 188  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (2件)：

• 森. 1991年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 517
• 森. 1994年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 645

タイトルに関連する用語 (3件)： プラズマCVM ,  加工面 ,  加工変質層