研究者
J-GLOBAL ID：200901078612393742   更新日: 2024年10月22日

山村 和也

ヤマムラ カズヤ | Yamamura Kazuya
所属機関・部署：
大阪大学 大学院工学研究科

大阪大学 大学院工学研究科 について


職名： 教授
ホームページURL (1件)： http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp
研究分野 (2件)： 加工学、生産工学 ,  薄膜、表面界面物性
研究キーワード (12件)： 中性子光学素子 ,  X線光学素子 ,  超精密光学素子 ,  表面改質 ,  物理化学加工 ,  超精密加工 ,  Neutron optics ,  X-ray optics ,  ultraprecision optical components ,  surface midification ,  unconventional machining ,  ultraprecision machining
競争的資金等の研究課題 (94件)：
  • 2021 - 2026 プラズマナノ製造プロセスによる完全無歪加工の実現とその学理の探究
  • 2022 - 2023 プラズマナノ製造プロセスによる単結晶SiCウエハの高能率ダメージフリー製造
  • 2021 - 2023 超音波を援用したワイドギャップ半導体基板のスラリーレス電気化学機械研磨装置の開発
  • 2020 - 2023 能動制御型超音波援用スラリーレス電気化学機械研磨法の開発
  • 2020 - 2023 深部磁気構造研究のための中性子顕微鏡の開発
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論文 (337件)：
  • Xinyang Wei, Alasdair Mitchell, Rongyan Sun, Nan Yu, Kazuya Yamamura. A Review of Simulation Modeling of the State Evaluation and Process Prediction of Plasma Processing under Atmospheric Pressure. Nanomanufacturing and Metrology. 2024. 7. 1
  • R. Sun, R. Kinoshita, K. Aoki, S. Hayakawa, K. Hori, K. Yasuda, Y. Ohkubo, K. Yamamura. Oxidation mechanism of 4H-SiC in slurry-less ECMP with weak alkaline electrolyte. CIRP Annals - Manufacturing Technology. 2024
  • Nian Liu, Huilong Jiang, Junfeng Xiao, Jianguo Zhang, Xiao Chen, Jingming Zhu, Jianfeng Xu, Kazuya Yamamura. Insights into the atomic-scale removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing with quartz glass. Tribology International. 2024. 194. 109507-109507
  • M. Nishino, K. Inagaki, Y. Morikawa, K. Yamamura, Y. Ohkubo. Identification of the surface chemical species of plasma-treated polytetrafluoroethylene by ab-initio calculations of the core-energy-level shift in X-ray photoelectron spectra. Applied Surface Science. 2024. in Press
  • Xiaozhe Yang, Xu Yang, Kazuya Yamamura. Effects of electrolyte type and concentration on the anodic oxidation of 4H-SiC (0001) in slurryless electrochemical mechanical polishing. Electrochimica Acta. 2023. 474. 143531-143531
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MISC (839件)：
  • 陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2022. 2022
  • 孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨法の開発(第24報)-CF4プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化-. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2022. 2022
  • 杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー 平坦・平滑化に関する研究(第1報). 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM). 2022. 2022
  • 東知樹, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太. Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2022. 2022
  • 杉本健太郎, 劉念, 吉鷹直也, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性および摺動速度依存性に関する検討-. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2022. 2022
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特許 (23件)：
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書籍 (17件)：
  • 接着界面解析と次世代接着接合技術
    (株)エヌ・ティー・エス、東京 2022
  • Chapter 41. Plasma-Based Nanomanufacturing Under Atmospheric Pressure, Handbook of Manufacturing Engineering and Technology
    Springer 2014 ISBN:9781447146698
  • 超精密加工と表面科学 原子レベルの生産技術
    大阪大学出版会 2014
  • 精密加工と微細構造の形成技術, 第1章第2節[9], プラズマ援用研磨による SiCのスクラッチフリー・ダメージフリー仕上げ
    技術情報協会 2013 ISBN:9784861044830
  • 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版第6章第3節 プラズマCVMによる超精密形状創成とプラズマ援用研磨による表面仕上げ
    サイエンス&テクノロジー 2012 ISBN:9784864280396
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Works (38件)：
  • フッ素樹脂を絶縁被覆材料とする無電解銅めっきシールド超極細同軸ケーブルの開発
    2012 -
  • フッ素樹脂を絶縁被覆材料とする無電解銅めっきシールド超極細同軸ケーブルの開発
    2011 -
  • プラズマ援用加工を用いた難加工材料の高品位仕上げプロセスの開発
    2011 -
  • 高性能パワーデバイスのための原子スケールで平坦なダメージフリーSiCウエハの作製
    2011 -
  • 中性子集光用非球面スーパーミラーデバイスの開発
    2010 -
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学歴 (3件)：
  • - 2001 大阪大学 論文博士 博士(工学)
  • - 1991 大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士前期課程 修了
  • - 1989 大阪大学 工学部 精密工学科 卒業
学位 (2件)：
  • 博士(工学) (大阪大学)
  • 工学修士 (大阪大学)
経歴 (7件)：
  • 2021/04 - 現在 大阪大学大学院工学研究科附属精密工学研究センター センター長
  • 2017/08 - 現在 大阪大学 教授
  • 2009/04 - 現在 理化学研究所 客員研究員
  • 2007/04 - 2017/08 大阪大学 准教授
  • 2009/04 - 2010/03 大阪電気通信大学 客員研究員
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委員歴 (14件)：
  • 2017 - 現在 (公社)精密工学会 フェロー
  • 2016 - 現在 (一社)電気加工学会 理事
  • 2016 - 現在 (一社)電気加工学会西日本支部 幹事
  • 2012 - 現在 (公社)精密工学会 超精密加工専門委員会 幹事
  • 2011 - 現在 (公社)精密工学会 代議員
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受賞 (24件)：
  • 2024/04 - 紫綬褒章
  • 2024/03 - 公益社団法人精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞
  • 2023/06 - 公益社団法人工作機械技術振興財団 工作機械技術振興賞・人材育成賞
  • 2023/03 - 公益社団法人精密工学会 精密工学会高城賞
  • 2022/12 - SEMICON Japan SEMICON Japan 2022 アカデミアAward 最優秀賞
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所属学会 (15件)：
表面技術協会 ,  アメリカ精密工学会(ASPE) ,  (社)精密工学会 超精密加工専門委員会 ,  CIRP(国際生産加工アカデミー) ,  砥粒加工学会 ,  日本中性子科学会 ,  (社)精密工学会 関西支部 ,  (社)精密工学会 ,  応用物理学会 ,  精密工学会 ,  The International Academy for Production Engineering ,  Japan Society for Abrasive Technology ,  日本中性子科学会 ,  応用物理学会 ,  精密工学会
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