山村和也

ヤマムラカズヤ | Yamamura Kazuya

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp

研究分野 (2件)：加工学、生産工学 , 薄膜、表面界面物性

研究キーワード (12件)：中性子光学素子 , X線光学素子 , 超精密光学素子 , 表面改質 , 物理化学加工 , 超精密加工 , Neutron optics , X-ray optics , ultraprecision optical components , surface midification , unconventional machining , ultraprecision machining

競争的資金等の研究課題 (94件)：

2021 - 2026 プラズマナノ製造プロセスによる完全無歪加工の実現とその学理の探究
2022 - 2023 プラズマナノ製造プロセスによる単結晶SiCウエハの高能率ダメージフリー製造
2021 - 2023 超音波を援用したワイドギャップ半導体基板のスラリーレス電気化学機械研磨装置の開発
2020 - 2023 能動制御型超音波援用スラリーレス電気化学機械研磨法の開発
2020 - 2023 深部磁気構造研究のための中性子顕微鏡の開発

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論文 (321件)：

Nian Liu, Huilong Jiang, Junfeng Xiao, Jianguo Zhang, Xiao Chen, Jingming Zhu, Jianfeng Xu, Kazuya Yamamura. Insights into the atomic-scale removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing with quartz glass. Tribology International. 2024. 194. 109507-109507
M. Nishino, K. Inagaki, Y. Morikawa, K. Yamamura, Y. Ohkubo. Identification of the surface chemical species of plasma-treated polytetrafluoroethylene by ab-initio calculations of the core-energy-level shift in X-ray photoelectron spectra. Applied Surface Science. 2024. in Press
Xiaozhe Yang, Xu Yang, Kazuya Yamamura. Effects of electrolyte type and concentration on the anodic oxidation of 4H-SiC (0001) in slurryless electrochemical mechanical polishing. Electrochimica Acta. 2023. 474. 143531-143531
山村和也. プラズマ/電気化学プロセスを援用したナノ精度の形状加工と難加工材料のダメージフリー研磨. 日本機械学会誌. 2023. 126. 1259. 8-13
山村和也. 「ナノ製造プロセスの最前線」特集によせて. 日本機械学会誌. 2023. 126. 1259. 6-7

MISC (839件)：

陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2022. 2022
孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨法の開発(第24報)-CF₄プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化-. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2022. 2022
杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報). 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM). 2022. 2022
東知樹, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太. Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2022. 2022
杉本健太郎, 劉念, 吉鷹直也, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也. プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性および摺動速度依存性に関する検討-. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2022. 2022

特許 (23件)：

書籍 (17件)：

接着界面解析と次世代接着接合技術
(株)エヌ・ティー・エス、東京 2022
Chapter 41. Plasma-Based Nanomanufacturing Under Atmospheric Pressure, Handbook of Manufacturing Engineering and Technology
Springer 2014 ISBN:9781447146698
超精密加工と表面科学原子レベルの生産技術
大阪大学出版会 2014
精密加工と微細構造の形成技術, 第1章第2節[9], プラズマ援用研磨による SiCのスクラッチフリー・ダメージフリー仕上げ
技術情報協会 2013 ISBN:9784861044830
大気圧プラズマの生成制御と応用技術改訂版第6章第3節プラズマCVMによる超精密形状創成とプラズマ援用研磨による表面仕上げ
サイエンス&テクノロジー 2012 ISBN:9784864280396

Works (38件)：

フッ素樹脂を絶縁被覆材料とする無電解銅めっきシールド超極細同軸ケーブルの開発
2012 -
フッ素樹脂を絶縁被覆材料とする無電解銅めっきシールド超極細同軸ケーブルの開発
2011 -
プラズマ援用加工を用いた難加工材料の高品位仕上げプロセスの開発
2011 -
高性能パワーデバイスのための原子スケールで平坦なダメージフリーSiCウエハの作製
2011 -
中性子集光用非球面スーパーミラーデバイスの開発
2010 -

学歴 (3件)：

- 2001 大阪大学論文博士博士(工学)
- 1991 大阪大学工学研究科精密工学専攻博士前期課程修了
- 1989 大阪大学工学部精密工学科卒業

学位 (2件)：

博士(工学) (大阪大学)
工学修士 (大阪大学)

経歴 (7件)：

2021/04 - 現在大阪大学大学院工学研究科附属精密工学研究センターセンター長
2017/08 - 現在大阪大学教授
2009/04 - 現在理化学研究所客員研究員
2007/04 - 2017/08 大阪大学准教授
2009/04 - 2010/03 大阪電気通信大学客員研究員

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委員歴 (14件)：

2017 - 現在 (公社)精密工学会フェロー
2016 - 現在 (一社)電気加工学会理事
2016 - 現在 (一社)電気加工学会西日本支部幹事
2012 - 現在 (公社)精密工学会超精密加工専門委員会幹事
2011 - 現在 (公社)精密工学会代議員

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受賞 (23件)：

2024/03 - 公益社団法人精密工学会精密工学会沼田記念論文賞
2023/06 - 公益社団法人工作機械技術振興財団工作機械技術振興賞・人材育成賞
2023/03 - 公益社団法人精密工学会精密工学会高城賞
2022/12 - SEMICON Japan SEMICON Japan 2022 アカデミアAward 最優秀賞
2021/09 - 公益社団法人精密工学会精密工学会技術賞

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所属学会 (15件)：

表面技術協会 , アメリカ精密工学会(ASPE) , (社)精密工学会超精密加工専門委員会 , CIRP(国際生産加工アカデミー) , 砥粒加工学会 , 日本中性子科学会 , (社)精密工学会関西支部 , (社)精密工学会 , 応用物理学会 , 精密工学会 , The International Academy for Production Engineering , Japan Society for Abrasive Technology , 日本中性子科学会 , 応用物理学会 , 精密工学会

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山村 和也

山村和也