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J-GLOBAL ID：200902123880408700   整理番号：98A0481555

MOMBE-GaN層中の立方晶割合と不純物 ECRガン構造依存性 (II)

Cubic component and inpurities of MOMBE-GaN layers: dependence on ECR plasma gun structure. (II).

著者 (6件)： 米村正吾 (筑波大 物質工学系) ,  酒井光彦 (筑波大 物質工学系) ,  矢口哲也 (筑波大 物質工学系) ,  土屋晴稔 (筑波大 物質工学系) ,  末益崇 (筑波大 物質工学系) ,  長谷川文夫 (筑波大 物質工学系)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 45th  号： 1  ページ： 343  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： MOMBE ,  GaN ,  立方晶 ,  割合 ,  不純物 ,  ガン ,  構造依存性