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J-GLOBAL ID：200902125583772501   整理番号：95A0945411

極端紫外線リソグラフィーに使われるレーザ生成プラズマからの粒子デブリの速度の評価

Velocity characterization of particulate debris from laser-produced plasmas used for extreme-ultraviolet lithography.

著者 (3件)： BENDER H A (Univ. Central Florida, Florida) ,  O’CONNELL D (Univ. Central Florida, Florida) ,  SILFVAST W T (Univ. Central Florida, Florida)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 34  号： 28  ページ： 6513-6521  発行年： 1995年10月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体SnおよびAuターゲットを用いて作られたレーザ生成プラズ...

シソーラス用語： フォトリソグラフィー ,...

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分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 極端紫外線リソグラフィー ,  レーザ生成プラズマ ,  ブリ ,  評価