ナノメータスケールのパターン決定におけるナノインプリンティング法の諸問題

SCHEER H-C; SCHULZ H; HOFFMANN T; TORRES C M S

文献

J-GLOBAL ID：200902127000143474 整理番号：99A0237863

ナノメータスケールのパターン決定におけるナノインプリンティング法の諸問題

Problems of the nanoimprinting technique for nanometer scale pattern definition.

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巻： 16 号： 6 ページ： 3917-3921 発行年： 1998年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記のパターン転写法について接着に関する問題点を検討した。P...

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固体デバイス製造技術一般

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