SPring-8アンジュレータ光によるSiO<sub>2</sub>膜の軟X線エッチングとSiの酸化・窒化

文献

J-GLOBAL ID：200902127147929694 整理番号：00A0720959

SPring-8アンジュレータ光によるSiO₂膜の軟X線エッチングとSiの酸化・窒化

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資料名：
巻： 20th ページ： S7-S8 発行年： 2000年01月20日
JST資料番号： X0010A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

引用文献 (9件)：

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