レーザアブレーションによる窒化ケイ素と純銅の低温接合

矢野哲夫; 大家利彦; 米田理史; 勝村宗英

文献

J-GLOBAL ID：200902127473773998 整理番号：95A0190670

レーザアブレーションによる窒化ケイ素と純銅の低温接合

Low Temperature Bonding of Cu on Si₃N₄ Using Laser Ablation Process.

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巻： 59 号： 1 ページ： 89-93 発行年： 1995年01月
JST資料番号： G0023A ISSN： 0021-4876 CODEN： NIKGAV 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

Si₃N₄板にK...

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レーザ照射・損傷

引用文献 (8件)：

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