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J-GLOBAL ID：200902128041566866   整理番号：00A0195607

帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定

Fast Surface Profiling by White-Light Interferometry Using a Sampling Theorem for Band-Pass Signals.

著者 (5件)： 平林晃 (東京工大 大学院) ,  小川英光 (東京工大 大学院) ,  水谷竜也 (東京工大 大学院) ,  永井健 (松下電器産業) ,  北川克一 (東レ)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 36  号： 1  ページ： 16-25  発行年： 2000年01月30日 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記の表面凹凸の高速測定を行った。干渉縞によりモデルを導き,...

シソーラス用語： *形状測定 ,...

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (6件)：

• BALASUBRAMANIAN, N. Optical system for surface topography measurement. 1982
• 日本機械学会. 超精密形状計測技術. 1996
• CABER, P. J. Interferometric profiler for rough surfaces. Appl.Opt. 1993, 32-19, 3438-3441
• 堀健夫. 光学[I]. 1952
• MARKS, R. J. Introduction to Shannon Sampling and Interpolation Theory. 1991

タイトルに関連する用語 (5件)： 帯域 ,  標本化定理 ,  白色 ,  光干渉 ,  凹凸形状