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J-GLOBAL ID：200902130080333580   整理番号：00A0076416

研磨ロボット用光学的表面粗さセンサの研究 1 Torrance-Sparrowモデルに基づく表面粗さの測定原理

Optical Sensing of Surface Roughness for Polishing Robot (1st Report) - Principle of Measuring Surface Roughness Based on Torrance-Sparrow Model.

著者 (4件)： 原田博之 (熊本大 工) ,  樋口朗 (九州松下電器) ,  山口晃生 (熊本大 工) ,  野田敦彦 (熊本工大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 65  号： 12  ページ： 1761-1766  発行年： 1999年12月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： インプロセスで使用可能な標記センサによる測定法を提案した。金...

シソーラス用語： *表面粗さ ,...
準シソーラス用語： *工業用ロボット

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  研削  (QC03000R)

引用文献 (9件)：

• MITSUI, K. Im-process Sensors for Surface Roughness and Their Applications. Prec. Eng. 1986, 8, 4, 212
• GRIFFITHS, B. J. Surface Finish Scatters the Light. Sensor Rev. 1995, 15, 2, 31
• BIRKEBAK, R. C. Optical and Mechanical RMS Surface Roughness Comparison. Appl. Opt. 1971, 10, 8, 1970
• 酒井泉. 光学的反射方式による表面粗さ測定の研究. 精密機械. 1982, 48, 11, 1478
• 栗田政則. 二次元ガウス信号を用いた光学的表面粗さ測定法. 日本機械学会論文集. 1993, 59, 560, C, 1086

タイトルに関連する用語 (7件)： 研磨 ,  ロボット ,  光学 ,  表面粗さ ,  研究 ,  モデル ,  測定原理