文献
J-GLOBAL ID：200902130558322040   整理番号：01A1072817

気体クラスタイオンビームによる材料加工

Materials processing by gas cluster ion beams.
著者 (4件)：
YAMADA I

YAMADA I について

(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN について

, 
MATSUO J

MATSUO J について

(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)

Kyoto Univ., Kyoto, JPN について

, 
TOYODA N

TOYODA N について

(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN について

, 
KIRKPATRICK A

KIRKPATRICK A について

(Epion Corp., MA, USA)

Epion Corp., MA, USA について


資料名：
Materials Science & Engineering. R. Reports  (Materials Science & Engineering. R. Reports)

Materials Science & Engineering. R. Reports について


巻： R34  号： 6  ページ： 231-295  発行年： 2001年10月30日 
JST資料番号： T0341A  ISSN： 0927-796X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
実用的な工業材料への応用に有望な表面処理技術としての標記クラ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*クラスタイオン

クラスタイオン について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
イオンビームエッチング

イオンビームエッチング について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A1072817&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0341A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
電子ビーム・イオンビームの応用 
(BD02070X)

電子ビーム・イオンビームの応用 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
気体

気体 について

, 
クラスタイオンビーム

クラスタイオンビーム について

, 
材料加工

材料加工 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM