乾式ブラスト加工におけるマスキング材の損耗特性  マスキング用感光性樹脂の耐ブラスト性

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J-GLOBAL ID：200902131390088751 整理番号：02A0004348

乾式ブラスト加工におけるマスキング材の損耗特性マスキング用感光性樹脂の耐ブラスト性

The characteristics on Wear of Masking Photo Resist for Dry Blasting. Wear Resistance of Masking Photo Resist.

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巻： 45 号： 12 ページ： 580-585 発行年： 2001年12月01日
JST資料番号： L0473A ISSN： 0914-2703 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

硬脆材料に乾式ブラスト加工で回路パターンを形成する方法は乾式...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (7件)：

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