Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN について
KUNIMORI K について
Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN について
NOZOYE H について
National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
ラジカル について
電子源,イオン源 について
酸素ラジカル について
ビーム について
RF について
性能特性 について