Heteroepitaxial growth of A1N at the resonance point of nitrogen-ECR plasma.

文献

J-GLOBAL ID：200902133409056719 整理番号：00A0277106

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巻： 209 号： 2/3 ページ： 406-409 発行年： 2000年02月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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