文献
J-GLOBAL ID：200902133515153359   整理番号：94A0062816

Orientation-dependent sulfide passivation of indium arsenide.

著者 (2件)：
NOVIKOV E B

NOVIKOV E B について

(A.F. Ioffe Physico-Technical Inst., St. Petersburg, SUN)

A.F. Ioffe Physico-Technical Inst., St. Petersburg, SUN について

, 
CHAIKINA E I

CHAIKINA E I について

(A.F. Ioffe Physico-Technical Inst., St. Petersburg, SUN)

A.F. Ioffe Physico-Technical Inst., St. Petersburg, SUN について


資料名：
Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing  (Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing)

Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing について


ページ： 189-194  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930660  ISBN： 1-55899-213-8  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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