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J-GLOBAL ID：200902135339124226   整理番号：03A0289976

フォトリソグラフィーで製作したER懸架用のマイクロER3方弁

Three-ports Micro ER Valve for ER Suspension Fabricated by Photolithography

著者 (5件)： NAKANO M (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  KATOU T (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  SATOU A (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  MIYATA K (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  MATSUSHITA K (Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
資料名： Journal of Intelligent Material Systems and Structures  (Journal of Intelligent Material Systems and Structures)
巻： 13  号： 7/8  ページ： 503-508  発行年： 2002年07月 
JST資料番号： W0165A  ISSN： 1045-389X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ITO電極パターンでコートした2枚のガラス板間のパターンレジ...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...
準シソーラス用語： ITO【固溶体】

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： フォトリソグラフィー ,  製作 ,  Er ,  懸架 ,  マイクロ