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J-GLOBAL ID：200902135737254059   整理番号：00A0711186

光学的平坦度を改善するための伸張膜マイクロミラー

Stretched-Film Micromirrors for Improved Optical Flatness.

著者 (5件)： NEE J T (Univ. California, CA, USA) ,  CONANT R A (Univ. California, CA, USA) ,  HART M R (Univ. California, CA, USA) ,  MULLER R S (Univ. California, CA, USA) ,  LAU K Y (Univ. California, CA, USA)
資料名： IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 13th  ページ： 704-709  発行年： 2000年 
JST資料番号： W1183A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波で走査できる光学的に平坦なマイクロミラーを製造するため...

シソーラス用語： *光走査 ,...
準シソーラス用語： DRIE

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分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光学 ,  平坦度 ,  伸張 ,  マイクロミラー