RAUSCH N について
Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU について
BURTE E P について
Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU について
Journal of the Electrochemical Society について
DRAM について
酸化物薄膜 について
固体デバイス製造技術一般 について
塩基,金属酸化物 について
低圧化学蒸着法 について
作製 について
TiO2 について
皮膜 について