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J-GLOBAL ID：200902138506503217   整理番号：99A0046171

摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究 第2報 FFM一体形加工評価装置を用いた微細加工の特性

Study on Nano-machining Process Using Mechanism of a Friction Force Microscope. 2nd Report. The Characteristics of Nano-Machining Process Using the Newly Developed FFM System.

著者 (3件)： 芦田極 (千葉大 大学院) ,  森田昇 (千葉大 工) ,  吉田嘉太郎 (千葉大 工)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 64  号： 626  ページ： 4079-4085  発行年： 1998年10月 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノメータスケールの機械加工現象を実験的に解明するために,高...

シソーラス用語： *ナノメータ加工 ,...
準シソーラス用語： 機械加工

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• 安永暢男. 精密工学会誌. 1993, 59-4, 539-542
• 稲村豊四郎. 精密工学会誌. 1990, 56-8, 1480-1486
• 大村悦二. 砥粒加工学会誌. 1994, 38-5, 256-261
• 北川浩. トライボロジスト. 1995, 40-6, 452-457
• MEYER, G. Appl. Phys. Lett. 1985, 57-20, 2089-2091

タイトルに関連する用語 (7件)： 摩擦力顕微鏡 ,  極 ,  機械加工 ,  研究 ,  体形 ,  評価装置 ,  微細加工