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J-GLOBAL ID：200902138654507787   整理番号：00A0086127

金属エッチプラズマプロセシング放電中の真空紫外スペクトルの絶対強度

Absolute intensities of the vacuum ultraviolet spectra in a metal-etch plasma processing discharge.

著者 (5件)： WOODWORTH J R (Sandia National Lab., New Mexico) ,  BLAIN M G (Sandia National Lab., New Mexico) ,  JARECKI R L (Sandia National Lab., New Mexico) ,  HAMILTON T W (Sandia National Lab., New Mexico) ,  ARAGON B P (Sandia National Lab., New Mexico)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 17  号： 6  ページ： 3209-3217  発行年： 1999年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 市販の誘導結合プラズマ装置内のAlエッチング用放電における真...

シソーラス用語： *プラズマエッチング ,...

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分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： エッチ ,  プラズマプロセシング ,  放電 ,  真空紫外スペクトル ,  絶対強度