文献
J-GLOBAL ID:200902138654507787   整理番号:00A0086127

金属エッチプラズマプロセシング放電中の真空紫外スペクトルの絶対強度

Absolute intensities of the vacuum ultraviolet spectra in a metal-etch plasma processing discharge.
著者 (5件):
資料名:
巻: 17  号:ページ: 3209-3217  発行年: 1999年11月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
市販の誘導結合プラズマ装置内のAlエッチング用放電における真...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,...
   続きはJDreamIII(有料)にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0086127&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}
分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
プラズマ応用  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

前のページに戻る