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J-GLOBAL ID：200902141976875430   整理番号：97A0039732

マイクロ物理 微小世界の物理学とマイクロマシン

Micro Physics. Physics of the Micro World and Micromachines.

著者 (1件)： 江刺正喜 (東北大 工)
資料名： 日本ロボット学会誌  (ロボ學)
巻： 14  号： 8  ページ： 1086-1089  発行年： 1996年11月 
JST資料番号： Y0482A  ISSN： 0289-1824  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集積回路の微細化が高密度,低消費電力,高速応答をもたらした。...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： マイクロ物理

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (10件)：

• 江刺. マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• JOHANSSON, S. Fracture Testing of Silicon Microelements in Situ in a Scanning Electron Microscope. J. Appl. Phys. 1988, 63, 10, 4799-4803
• HORNBECK, L. J. Digital Light Processing and MEMS: Timely Convergence for a Bright Future. Micromachining and Microgabrication '95, Part of SPIE's Thematic Applied Science and Engineering Series. 1995, 3-21
• 土谷. 静電型マイクロセンサ,アクチュエータにおける表面間力. 計測自動制御学会論文集. 1994, 30, 2, 143-149
• CABUZ, C. Fabrication and Packaging of a Resonant Infrared Sensor Integrated in Silicon. Sensors and Actuators. 1994, A 43, 92-99

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ ,  物理 ,  微小 ,  世界 ,  物理学 ,  マイクロマシン