文献

J-GLOBAL ID：200902145171163927   整理番号：94A0247664

静電型マイクロセンサ,アクチュエータにおける表面間力

Surface Force in Electrostatic Type Microsensors and Microactuators.

著者 (6件)： 土谷茂樹 (日立) ,  鈴木清光 (日立 日立研) ,  嶋田智 (日立 日立研) ,  三木政之 (日立 日立研) ,  松本昌大 (日立 日立研) ,  倉垣智 (日立 日立研)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 30  号： 2  ページ： 143-149  発行年： 1994年02月 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 静電容量式あるいは静電気力を駆動力として用いるマイクロセンサ...

シソーラス用語： 引力 ,...
準シソーラス用語： 表面間力

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分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

引用文献 (6件)：

• TAI, Y. Frictional Study of IC-processed Micromotors. Sensors and Actuators. 1990, A21-A23, 180-183
• MEHREGANY, M. Operation of Harmonic Side-Drive Micromotors Studied through Gear Ratio Measurements, Technical Digest. 6th Int. Conf. Solid-State Sensors and Actuators. 1991, 59-62
• GUCKEL, H. Fabrication of Micromechanical Devices from Polysilicon Films with Smooth Surfaces. Sensors and Actuators. 1989, 20, 117-122
• SCHEEPER, P. R. Surface Forces in Micromachined Structures. Proc. Micromechanics Europe '90. 1990, 47-52
• MEHREGANY, M. Operation of Microfabricated Harmonic and Ordinary Side-drive Motor. Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1990, 1-8

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロセンサ ,  アクチュエータ ,  表面間力