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J-GLOBAL ID：200902142284908652   整理番号：00A0565893

シリコン単結晶のX線応力測定

X-Ray Stress Measurement of Silicon Single Crystal.

著者 (3件)： 鈴木裕士 (東京都大 大学院) ,  秋田貢一 (東京都大) ,  三沢啓志 (東京都大)
資料名： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 49  号： 5  ページ： 534-540  発行年： 2000年05月15日 
JST資料番号： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 入射X線を中心とする回転揺動(χ揺動)およびそれと垂直な方向...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の材料の試験  (HB05000T)

引用文献 (7件)：

• 小長哲朗. 日本機械学会誌. 1970, 73, 972
• 須山雄二郎. 日本材料学会第34回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集. 1998, 25
• WARD, A. III. Proc.of ICRS-5. 1997, 1054
• 秋田貢一. 日本材料学会第33回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集. 1997, 119
• 英崇夫. 材料. 1984, 33, 372

タイトルに関連する用語 (2件)： シリコン単結晶 ,  X線応力測定