プラズマプロセスによりSiとの界面に形成したAu,Ti薄膜の構造

文献

J-GLOBAL ID：200902143428971105 整理番号：93A0582817

Structures of Au and Ti thin films formed at the interface with Si by the plasma process.

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巻： 228 号： 1/2 ページ： 105-108 発行年： 1993年05月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

rfイオンめっきでSi(100),(110),(111)表面...

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金属薄膜

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