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J-GLOBAL ID:200902144280628674   整理番号:98A0527389

Schottkyソース/ドレイン接触を使ったSOI MOSFETの漂遊体効果の低減

Reduction of the Floating Body Effect in SOI MOSFETs by Using Schottky Source/Drain Contacts.
著者 (2件):
資料名:
巻: 37  号: 3B  ページ: 1295-1299  発行年: 1998年03月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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ソース/ドレイン位置にSchottky接触を使った,新しいシ...
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トランジスタ 
引用文献 (10件):
  • 1) SOI Kozo Keisei Gijutsu, ed. S. Furukawa (Sangyo Tosho, Tokyo, 1987) [in Japanese].
  • 2) J. P. Collinge: Silicon-on-Insulator Technology: Materials to VLSI (Kluwer Academic Publishers, 1991).
  • 3) K. Arita, M. Akamatsu and T. Asano: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 1505
  • 4) K. Arita, M. Akamatsu and T. Asano: Ext. Abstr. 1997 Int. Conf. Solid State Devices and Materials, Hamamatsu, 1997 (Business Center for Academic Society of Japan, Tokyo, 1997) p. 146.
  • 5) T. Saraya, M. Takamiya, T. N. Duyet and T. Hiramoto: Ext. Abstr. 1997 Int. Conf. Solid State Devices and Materials, Hamamatsu, 1997 (Business Center for Academic Society of Japan, Tokyo, 1997) p. 554.
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