マルチ内部アンテナ方式を用いた大面積誘導結合プラズマの生成

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J-GLOBAL ID：200902144352110330 整理番号：02A0643469

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資料名：
巻： 28 号： 4 ページ： 13 発行年： 2002年07月22日
JST資料番号： F0907B ISSN： 0387-1096 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

プラズマ源の大容積化と高密度化を目的として低インダクタンス内...

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プラズマ装置 , 固体デバイス製造技術一般

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