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J-GLOBAL ID：200902145704551363   整理番号：02A0419590

紫外線照射によるビニルシルセスキオキサン-チタニア系ゲル膜の特性変化とマイクロパターニングへの応用

Changes in Physical Properties of Vinylsilsesquioxane-Titania Gel Films with Ultraviolet Light Irradiation and Application to Micro-Patterning.

著者 (5件)： 小川良平 (大阪府大 大学院) ,  松田厚範 (大阪府大 大学院) ,  忠永清治 (大阪府大 大学院) ,  辰巳砂昌弘 (大阪府大 大学院) ,  南努 (大阪府大 大学院)
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 81st  号： 1  ページ： 195  発行年： 2002年03月11日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ビニルトリエトキシシランとテトラブトキシチタンから作製した透...

シソーラス用語： シロキサン誘導体 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (2件)： ビニルトリエトキシシラン ,  チタン酸テトラブチル

タイトルに関連する用語 (5件)： 紫外線照射 ,  チタニア ,  ゲル ,  マイクロパターニング ,  応用