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J-GLOBAL ID：200902146314691560   整理番号：02A0686126

高導電性かつ透明な酸化インジウム膜のパルスレーザ蒸着

Highly conducting transparent indium tin oxide films prepared by pulsed laser deposition.

著者 (5件)： SUZUKI A (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  MATSUSHITA T (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  AOKI T (Osaka, Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  MORI A (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  OKUDA M (Osaka, Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 411  号： 1  ページ： 23-27  発行年： 2002年05月22日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SnO₂ドープIn<sub>2</su...

シソーラス用語： *酸化インジウム ,...
準シソーラス用語： ITO【固溶体】

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分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高導電性 ,  酸化インジウム ,  パルスレーザ蒸着