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J-GLOBAL ID：200902146913646726   整理番号：01A0587683

超純水のみによる電気化学的加工法の研究 触媒反応を利用した超純水中のOH^-イオン密度の増加方法

A Study on Electrochemical Machining Method in Ultrapure Water. Increase of Hydroxyl lon in Ultrapure Water by Catalytic Reaction.

著者 (6件)： 森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科) ,  後藤英和 (京都工繊大 工芸) ,  広瀬喜久治 (大阪大 大学院工学研究科) ,  小畠厳貴 (大阪大 大学院工学研究科) ,  当間康 (荏原総合研) ,  森田健一 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67  号： 6  ページ： 932-936  発行年： 2001年06月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密・超清浄な加工法を開発するために,超純水中のOH<su...

シソーラス用語： *電解加工 ,...
準シソーラス用語： 電気化学的加工 ,...

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (11件)：

• 森勇藏. 金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第1報). 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1998, 443
• MORI, Y. Development of Ultra-Precision and Ultra-Clean Electro-Chemical Processing Method Using Hydroxyl Ion in Ultrapure Water, in Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. JSPE Publication Series. 1999, No.3, 237
• UCS半導体基盤技術研究会編. シリコンの科学. 1996, 377
• 森勇藏. 金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第2報). 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1999, 421
• 森勇藏. 金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第3報). 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1999, 571

タイトルに関連する用語 (5件)： 純水 ,  電気化学的加工 ,  研究 ,  触媒反応 ,  イオン密度