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J-GLOBAL ID:200902147154776845   整理番号:01A0444048

スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの有限要素法熱変形解析

Finite Element Analysis of Thermal Deformation of a Metal Mask for Pattern Formation of Sputtered Films.
著者 (6件):
資料名:
巻: 20  号:ページ: 71-77  発行年: 2001年03月15日 
JST資料番号: L0458A  ISSN: 0285-9947  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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