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J-GLOBAL ID：200902147154776845   整理番号：01A0444048

スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの有限要素法熱変形解析

Finite Element Analysis of Thermal Deformation of a Metal Mask for Pattern Formation of Sputtered Films.

著者 (6件)： 吉沢寿夫 (富山大 工) ,  山崎登志成 (富山大 工) ,  山淵龍夫 (富山大 工) ,  広林茂樹 (富山大 工) ,  喜久田寿郎 (富山大 工) ,  中谷訓幸 (富山大 工)
資料名： シミュレーション  (Journal of the Japan Society for Simulation Technology)
巻： 20  号： 1  ページ： 71-77  発行年： 2001年03月15日 
JST資料番号： L0458A  ISSN： 0285-9947  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： スパッタ膜のパターン形成に金属マスクを利用する方法の欠点は,...

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• YAMAZAKI, T. Pattern Formation of Sputtered Films by Deposition through Mask. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35 Part 1, 4755/4759
• 水口. 電子部品の電極形成方法およびそれに用いられるマスキング装置. 特許公開番号/特開平09-202959. 1997
• 水口. 電子部品の電極形成方法およびそれに用いる電極形成装置. 特許公開番号/特開平10-8239. 1998
• 倉西正嗣. 弾性学. 1970, 14/16
• 田中喜久明. 弾性力学と有限要素法. 1995, 113

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ膜 ,  パターン形成 ,  金属マスク ,  有限要素法 ,  変形解析