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J-GLOBAL ID：200902148881817569   整理番号：99A0739069

ArFエキシマレーザによる被覆光分解過程を用いた結晶化TiO₂(ルチル)へのチタンアルコキシドの直接変換

Direct Conversion of Titanium Alkoxide into Crystallized TiO₂ (rutile) Using Coating Photolysis Process with ArF Excimer Laser.

著者 (8件)： TSUCHIYA T (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  WATANABE A (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  IMAI Y (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  NIINO H (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  YAMAGUCHI I (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  MANABE T (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  KUMAGAI T (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  MIZUTA S (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 38  号： 7B  ページ： L823-L825  発行年： 1999年07月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ルチル薄膜を標記過程のレーザ照射により室温で成功裏に作製した...

シソーラス用語： エキシマレーザ ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (11件)：

• 1) N. Tanaka, S. Ohshio and H. Saitoh: J. Ceram. Soc. Jpn. 105 (1997) 551.
• 2) N. Martin, C. Rousselot, C. Savall and F. Palmino: Thin Solid Films 287 (1996) 154.
• 3) C. Garapon, C. Champeaux, J. Mugnier, G. Panczer, P. Marchet, A. Catherinot and B. Jacquier: Appl. Surf. Sci. 96-98 (1996) 836.
• 4) X.-Z. Ding, Z.-Z. Qi and Y. Z. He: J. Mater. Sci. Lett. 14 (1995) 21.
• 5) H. Lin, H. Kozuka and T. Yoko: Thin Solid Films 315 (1998) 111.

タイトルに関連する用語 (7件)： ArFエキシマレーザ ,  分解過程 ,  結晶化 ,  TiO2 ,  ルチル ,  チタンアルコキシド ,  直接変換