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J-GLOBAL ID：200902104913842490   整理番号：97A0732745

常圧CVD法による二酸化チタン多結晶膜の優先配向

Preferential Orientation of Titanium Dioxide Polycrystalline Films Using Atmospheric CVD Technique.

著者 (3件)： TANAKA N (Nagaoka Univ. Technol., Nigata) ,  OHSHIO S (Nagaoka Univ. Technol., Nigata) ,  SAITOH H (Nagaoka Univ. Technol., Nigata)
資料名： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 105  号： 7  ページ： 551-554  発行年： 1997年07月 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記セラミック多結晶膜の結晶方位及び成長速度を調べた。二酸化...

シソーラス用語： 化学蒸着 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (9件)：

• CHEN, S. J. Vac. Sci. Technol. 1993, A11, 2419-2429
• BRADLEY, D. C. Metal Alkoxides. 1978
• NISHINO, J. J. Am. Ceram. Soc. 1992, 75, 3469-3472
• KAMATA, K. J. Am. Ceram. Soc. 1994, 77, 505-508
• BRYANT, W. A. J. Mater. Sci. 1977, 12, 1285-1306

タイトルに関連する用語 (4件)： 常圧CVD ,  二酸化チタン ,  多結晶 ,  優先配向