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J-GLOBAL ID：200902151326984817   整理番号：99A0169458

電気化学プロセスによるn-InP表面のエッチング

Electrochemical etching of n-InP surface in an acid solution.

著者 (4件)： 兼城千波 (北大) ,  佐藤威友 (北大) ,  橋詰保 (北大) ,  長谷川英機 (北大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 59th  号： 3  ページ： 1184  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気化学 ,  プロセス ,  InP ,  エッチング