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J-GLOBAL ID：200902151633796327   整理番号：98A0950508

Sr成分を変性したSrBi₂Ta₂O₉薄膜のインプリント特性

Imprint Characteristics of SrBi₂Ta₂O₉ Thin Films with Modified Sr Composition.

著者 (4件)： HASE T (NEC Corp., Kawasaki, JPN) ,  NOGUCHI T (NEC Corp., Kawasaki, JPN) ,  TAKEMURA K (NEC Corp., Kawasaki, JPN) ,  MIYASAKA Y (NEC Corp., Kawasaki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37  号： 9B  ページ： 5198-5202  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記SBT膜のインプリント特性を化学量論組成とストロンチウム...

シソーラス用語： *不揮発性メモリ ,...
準シソーラス用語： インプリント特性

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

引用文献 (10件)：

• 1) C. A. Paz de Araujo, J. D. Cuchiaro, L. D. McMillan, M. C. Scott and J. F. Scott: Nature 374 (1995) 627.
• 2) K. Amanuma, T. Hase and Y. Miyasaka: Appl. Phys. Lett. 66 (1995) 221
• 3) D. J. Taylor, R. E. Jones, P. Zorcher, P. Chu, Y. T. Lii and B. Jians: Appl. Phys. Lett. 68 (1996) 2300
• 4) T. Noguchi, T. Hase and Y. Miyasaka: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 4900
• 5) T. Noguchi, T. Hase and Y. Miyasaka: Integr. Ferroelectr. 17 (1997) 57.

タイトルに関連する用語 (4件)： Sr ,  変性 ,  薄膜 ,  プリント特性