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J-GLOBAL ID：200902151762970953   整理番号：95A0757797

Walking Driveによる精密送り機構の開発 (第2報) 速度制御法と超精密位置決めシステムの開発

Development of Precision Feed Mechanism by Applying Principle of Walking Drive. (2nd Report). Development of Feed Velocity Control Method and Ultraprecision Positioning System.

著者 (4件)： 社本英二 (神戸大 工) ,  SHIN H (神戸大) ,  山口貴洋 (日本電装) ,  森脇俊道 (神戸大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 8  ページ： 1106-1110  発行年： 1995年08月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密位置決めおよび送り装置に関する技術は超精密工作機械や計...

シソーラス用語： 精密機械 ,...
準シソーラス用語： ウォーキングドライブ

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分類 (1件)： 運動機構  (QB01080K)

引用文献 (5件)：

• Burleigh Instrument Inc. catalog
• 社本英二. Walking Driveによる精密送り機構の開発(第1報)-Walking Driveの駆動原理と基本特性. 精密工学会誌. 1993, 59,2, 317
• MORIWAKI, T. Development of Micro Tool Positioning System for Precision Machining. Proc. Int. Conf. on Advanced Mechatronics, JSME. 1989, 147
• 樋口俊郎. 圧電素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構. 精密工学会誌. 1988, 54,11, 2107
• 森健次. 圧電リニアモ-タによるステ-ジ駆動機構. 精密工学会昭和63年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 1988, No. 213

タイトルに関連する用語 (3件)： 開発 ,  速度制御 ,  精密位置決め